Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2 / Цветков Юрий Борисович

Описание и характеристики Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2 / Цветков Юрий Борисович

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".

Для приобретения Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2 / Цветков Юрий Борисович от «Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана» арт. 4951808 выберите желаемое количество единиц и кликните на красную кнопку "Купить". Далее товар будет перемещён в корзину. После выбора всех выбранных позиций перейдите в корзину в правом верхнем углу страницы и завершите оформление заказа. При оформлении вам будет предложено выбрать способ доставки Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2 / Цветков Юрий Борисович в Санкт-Петербурге и Ленинградской области и оплаты из доступных вариантов.